স্বাস্থ্যসেবায় ব্যবহৃত বেশিরভাগ চিকিত্সা এবং অস্ত্রোপচারের ডিভাইসগুলি যেমন: স্ক্যাল্পেল, হাইপোডার্মিক সূঁচ এবং কৃত্রিম পেসমেকার কেমিক্যাল স্টেরিলাইজেশন অথবা রাসায়নিকভাবে জীবাণুমুক্ত করতে হয়। যেমন: ইথিলিন অক্সাইড গ্যাস ১৯৫০ সাল থেকে তাপ এবং আর্দ্রতা-সংবেদনশীল চিকিৎসা যন্ত্রের জন্য ব্যবহৃত হচ্ছে। এছাড়াও নিম্ন-তাপমাত্রার জীবাণুমুক্তকরণ ব্যবস্থা (যেমন: বাষ্পযুক্ত হাইড্রোজেন পারক্সাইড, পেরাসেটিক এসিড নিমজ্জন, ওজোন) তৈরি করা হয়েছে এবং চিকিত্সা ডিভাইসগুলোকে জীবাণুমুক্ত করতে ব্যবহৃত হচ্ছে।